感放射線性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小栗昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-329214
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131916
出願日： 2000年10月27日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】解像力及び保存性が優れている感放射線性レジスト組成物、そして更にエッジラフネスが改善した感放射線性レジスト組成物を提供することにある。【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が変化する樹脂、光酸発生剤、溶剤、及び、特定の脂環式又は芳香環式化合物を含有してなることを特徴とする感放射線性レジスト組成物。

請求項（抜粋）：

(A)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が変化する樹脂、(B)光酸発生剤、(C)溶剤、及び、(D)下記一般式(1)で示される脂環式又は芳香環式化合物を含有してなることを特徴とする感放射線性レジスト組成物。【化1】式中、R1は水素原子又は置換基を示す。R2は置換基を示す。nは0〜6を示す。nが2〜6で、R2が二つ以上有る場合は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。Xは3〜7員環の脂環式環又は芳香環を構成するための原子団を表し、窒素原子、酸素原子、硫黄原子及び極性基を有していてもよく、また縮合環を形成していてもよい。

IPC (8件)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/00 , C08K 5/17 , C08K 5/34 , C08L101/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/00 , C08K 5/17 , C08K 5/34 , C08L101/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , H01L 21/30 502 R

Fターム (45件)：

2H025AA00 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 2H025CC03 , 2H025CC04 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4J002AA031 , 4J002BH021 , 4J002BK001 , 4J002EA017 , 4J002EA057 , 4J002EB116 , 4J002ED027 , 4J002EE037 , 4J002EE047 , 4J002EH007 , 4J002EH037 , 4J002EH157 , 4J002EL067 , 4J002EN118 , 4J002EP017 , 4J002EU018 , 4J002EU027 , 4J002EU028 , 4J002EU038 , 4J002EU048 , 4J002EU058 , 4J002EU118 , 4J002EU138 , 4J002EU168 , 4J002EU238 , 4J002EV296 , 4J002EV318 , 4J002FD206 , 4J002FD310 , 4J002GP03

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