特許
J-GLOBAL ID：200903058447851141
ウエハ整列装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-303801
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151556
出願日： 1992年11月13日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 移載ロボットがアプロ-チするステ-ジ上のウエハカセットに収納されている半導体ウエハの姿勢合わせが可能で、姿勢の不揃いに起因する移載ロボットのハンドリングミスを確実に無くすことができるウエハ整列装置を提供する。【構成】 載置する棚を備えるウエハカセット21と、それを載置するステ-ジ20と、それを回転駆動する回転駆動装置28と、載置する棚を備えるボ-トと、ウエハを取り出してボ-トへもしくはその逆に移載する移載ロボットとを備える表面処理装置において、順次所定間隔を隔ててプレ-トで保持されたN個の押当部材55と、プレ-トを複数のロッド53とともに進動・退避可能に支持する駆動機構52と、駆動機構とロッドが収納されている枠体を支持する支柱と押当部材との距離を検出する検知器とを備え、駆動機構の駆動すると、押当部材がウエハカセットに収納されているウエハに係合するウエハ整列装置を設ける。
請求項（抜粋）：
所定枚数のウエハを載置する棚を所定間隔を隔てて複数段備えるウエハカセットと、上記ウエハカセットの複数個を載置する円形支持板を所定間隔を隔てて段々に軸支する回転軸部を備えるステ-ジと、上記ステ-ジを回転駆動する上記回転軸部に連結された回転駆動装置と、所定枚数のウエハを載置する棚を所定間隔を隔てて複数段備え定位置から処理ユニット内へまたはその逆に移送されるボ-トと、シ-ケンサからの指令を受けて上記ウエハカセットもしくは上記ボ-トにアプロ-チしてウエハを取り出して上記ウエハカセットもしくは上記ボ-トへもしくはその逆に移載する移載ロボットとを備え、上記回転駆動装置を回転駆動して上記移載ロボットが上記ウエハカセットからウエハを取り出し可能な位置にする表面処理装置において、上記ステ-ジの支持板列方向に順次所定間隔を隔ててプレ-トで保持されたN個の押当部材と、上記プレ-トを複数のロッドとともに進動・退避可能に支持する駆動機構と、上記駆動機構と上記ロッドが収納されている枠体を支持する支柱と、上記ウエハカセットと上記押当部材との距離を検出する検知器とを備え、上記駆動機構の駆動すると、上記押当部材が上記ウエハカセットに収納されている上記ウエハに係合することを特徴とするウエハ整列装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01L 21/22
, H01L 21/324
