特許

J-GLOBAL ID：200903058448962680

湿度感知膜及び湿度センサ素子

発明者： 国元 晃 ,  小野 敬
出願人/特許権者： 株式会社リケン
代理人 (1件)： 高石 橘馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-076136
公開番号（公開出願番号）：特開平5-240823
出願日： 1992年02月27日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】 薄型で、幅広い温度領域、特に200°C以上の高温において良好な湿度検知を行うことができる湿度センサ素子に用いる湿度感知膜を提供する。【構成】 アルカリ土類金属元素の酸化物の少なくとも一種を主成分とする第一の薄膜層12と、主成分として、アルカリ土類金属元素、アルカリ金属元素系、及び貴金属元素以外の金属の酸化物からなる第二の薄膜層11とが積層してなり、常時200 °C以上の高温状態において、湿度に応じて積層膜の抵抗値が変化する湿度感知膜13である。

請求項（抜粋）：

アルカリ土類金属元素の酸化物の少なくとも一種を主成分とする第一の薄膜層と、主成分として、アルカリ土類金属元素、アルカリ金属元素系、及び貴金属元素以外の金属の酸化物からなる第二の薄膜層とが積層してなり、常時200 °C以上の高温状態において、湿度に応じて積層膜の抵抗値が変化することを特徴とする湿度感知膜。