特許
J-GLOBAL ID：200903058463547703
液相エピタキシヤル成長用治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田中 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-271923
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090181
出願日： 1991年09月25日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】部品の機械的強度を向上させ耐久性を持たせることによって全体として耐久性に優れた、しかも耐熱性を保持し苛酷な条件にも十分耐え、繰り返し使用し得る液相エピタキシャル成長用治具を提供する。【構成】液相エピタキシャル成長用治具の構成部品である、支持台11と、支持台上に摺動可能に載置し且つ単結晶基板収納部12aを設けたスライダ-12と、支持台にピン14で固定されてスライダ-の案内通路を形成し且つ液相エピタキシャル成長用材料を単結晶基板に供給する溜部13aを設けた融液槽13とのうちの少なくとも1つを炭素結合炭素繊維複合材料で構成する。
請求項（抜粋）：
支持台と、支持台上に摺動可能に載置され且つ上面に単結晶基板収納部を有するスライダ-と、支持台に固定されてスライダ-の案内通路を形成し且つ単結晶基板に液相エピタキシャル成長用材料を供給する溜部を有する融液槽とを備えた液相エピタキシャル成長用治具において、前記支持台、スライダ-及び融液槽の少なくとも1つを炭素結合炭素繊維複合材料で構成したことを特徴とする液相エピタキシャル成長用治具。
IPC (2件)：
引用特許：
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