水晶振動子

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-206252
公開番号（公開出願番号）：特開2006-033181
出願日： 2004年07月13日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：

【目的】周波数調整膜による振動特性の変化を防止した水晶振動子を提供する。【構成】水晶片の両主面に対向する励振電極を形成して振動領域を形成し、前記振動領域上に蒸着によって周波数調整膜を設けてなる水晶振動子において、前記振動領域よりも大きい面積として前記水晶片及び前記励振電極と付着力の強い補強層を前記振動領域上に設け、前記補強層上に前記周波数調整膜を設けた構成とする。また、前記励振電極はAu、Ag又はALとし、前記補強層はCr、Ni又はTiであり、前記補強層は500Å以下の構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

水晶片の両主面に対向する励振電極を形成して振動領域を形成し、前記振動領域上に蒸着によって周波数調整膜を設けてなる水晶振動子において、前記振動領域よりも大きい面積として前記水晶片及び前記励振電極と付着力の強い補強層を前記振動領域上に設け、前記補強層上に前記周波数調整膜を設けたことを特徴とする水晶振動子。

IPC (2件)：

H03H 9/02 , H03H 9/19

FI (2件)：

H03H9/02 M , H03H9/19 F

Fターム (14件)：

5J108AA02 , 5J108AA07 , 5J108BB02 , 5J108CC04 , 5J108DD02 , 5J108EE03 , 5J108FF01 , 5J108FF03 , 5J108FF05 , 5J108HH03 , 5J108HH04 , 5J108HH06 , 5J108KK05 , 5J108KK07

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