特許

J-GLOBAL ID：200903058473516113

放射光ミラー装置

発明者： 丸下 元治 ,  手塚 厚
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-015911
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211894
出願日： 1998年01月28日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】 長尺ミラーの反射面を計画値に応じて湾曲させることが可能な放射光ミラー装置を提供する。【解決手段】 上側に反射面18を有する長尺ミラー13の各端部を保持する揺動ホルダ14と、長尺ミラー13が湾曲し得るように揺動ホルダ14を枢支する支持ホルダ15と、長尺ミラー13の下側に沿って延び且つ各端部が揺動ホルダ14に軸線方向へ微小移動可能に挿通された湾曲用弾性体16と、湾曲用弾性体16の各端部に設けた抜け出し防止部材50とを備え、長尺ミラー13に対して近接離反し得る変位ホルダ51を湾曲用弾性体16に固着して、湾曲用弾性体16の軸線方向への移動に起因する抜け出し防止部材50と揺動ホルダ14との当接を抑止し、変位ホルダ51の移動に伴う長尺ミラー13の反射面18の湾曲を計画値に応じた状態にする。

請求項（抜粋）：

反射面に放射光ビームが入射し得る長尺ミラーと、該長尺ミラーの各端部をそれぞれ保持する揺動ホルダと、長尺ミラーが湾曲し得るように各揺動ホルダを枢支する支持ホルダと、長尺ミラーの反射面側あるいは反射面の裏面側に沿って配置され且つ両端近傍部分がそれぞれ揺動ホルダに軸線方向への微小移動が許容され得るように挿通された湾曲用弾性体と、該湾曲用弾性体の各端部に設けた抜け出し防止部材と、湾曲用弾性体の軸線方向中央部分に固着され且つ長尺ミラーに対して近接離反可能な変位ホルダとを備えてなることを特徴とする放射光ミラー装置。