Co-Pt-B系ターゲットおよびその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-200401
公開番号（公開出願番号）：特開2001-026860
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】 Co-Pt-B系磁性膜を形成するためのターゲットであって、結晶粒径の微細なターゲット素材およびその製造方法を提供する。【解決手段】 10≧B≧1at%、30≧Pt≧5at%、残部Coを主体とするターゲットであって、マトリックスの平均結晶粒径が50μm以下であり、組織中に存在するホウ化物がターゲットの断面で見た時に層状に分散させる。好ましくは30≧Cr≧10at%、7≧Ta>0at%、30≧Ni≧5at%および5≧(Ti+Zr+Hf+V+Nb+Mo+W+Cu+Ag+Au)>0at%を含有させる。また、上述した組成のターゲットは、10≧B≧1at%、30≧Pt≧5at%、残部Coを主体とする素材を、熱間圧延を施すことで、マトリックスの平均結晶粒径が50μm以下、組織中に存在するホウ化物をターゲットの断面で見た時に層状に分散させることができる。

請求項（抜粋）：

10≧B≧1at%、30≧Pt≧5at%、残部Coを主体とするターゲットであって、マトリックスの平均結晶粒径が50μm以下であり、組織中に存在するホウ化物がターゲットの断面で見た時に層状に分散していることを特徴とするCo-Pt-B系ターゲット。

IPC (4件)：

C23C 14/34 , C22C 19/07 , H01F 41/18 , G11B 5/851

FI (4件)：

C23C 14/34 A , C22C 19/07 M , H01F 41/18 , G11B 5/851

Fターム (12件)：

4K029BC06 , 4K029BD11 , 4K029DC04 , 4K029DC07 , 5D112AA05 , 5D112BB05 , 5D112FA04 , 5D112FB02 , 5E049AA04 , 5E049AA09 , 5E049BA06 , 5E049GC02

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