特許
J-GLOBAL ID：200903058487428772
荷電粒子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-006532
公開番号（公開出願番号）：特開平6-124678
出願日： 1993年01月19日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】【目的】 視野制限を容易に行うことができる荷電粒子顕微鏡を提供する。【構成】 任意の大きさのカーソル4-1を画面上に表示した試料9表面中の所望の観察領域の像に重畳して、任意の位置に適宜表示して視野制限領域を指定するカーソル設定手段3、5、8と、画面上でカーソル4-1で指定された視野制限領域に対応する試料9表面の領域だけで荷電粒子線12を走査させる制御手段8、13とを有する。
請求項（抜粋）：
試料表面中の所望の観察領域を荷電粒子線で走査することにより得られる画像信号に基づいて、前記観察領域の像を画面上に表示する荷電粒子顕微鏡において、前記画面上に表示した前記観察領域の像に重畳して任意の大きさのカーソルを任意の位置に適宜表示し、前記荷電粒子線の走査領域を指定するカーソル設定手段と、前記画面上で前記カーソルに指定された領域に対応する前記試料表面の領域だけで前記荷電粒子線を走査させる制御手段と、を有することを特徴とする荷電粒子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/22
, H01J 37/147
, H01J 37/28
