特許
J-GLOBAL ID:200903058496137004
微粒子膜とその形成方法並びにその装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西澤 利夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-038894
公開番号(公開出願番号):特開平8-229474
出願日: 1995年02月27日
公開日(公表日): 1996年09月10日
要約:
【要約】【構成】 移流集積によって、粒径がナノメートルオーダーの微粒子の単粒子膜、多粒子膜の形成において、高分子からなるLB膜または界面膜をバインダー層として用い、粒子薄膜の形成を制御するとともに転写基板に固定する。【効果】 単粒子膜、多粒子膜を制御性よく基板上に形成し、これを固定することが可能となる。
請求項(抜粋):
固体基板上に配設した両親媒性分子からなるバインダー層の表面に、単層もしくは多層のナノメートルスケール微粒子凝集膜が固定されていることを特徴とする微粒子膜。
IPC (3件):
B05C 3/09
, B01J 19/00
, B05D 1/18
FI (4件):
B05C 3/09
, B01J 19/00 M
, B01J 19/00 K
, B05D 1/18
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開平3-028190
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特開平1-273005
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特開平1-297173
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