画像寸法計測装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木内修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-162958
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334314
出願日： 1995年06月06日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【目的】コストを増大させることなく、多数の同じ被検物を長時間に亘って計測する場合でも精度の高い計測が可能な画像寸法計測装置を提供する。【構成】 XYステージ上の被検物の像を受けて画像信号を出力するカメラ3と、ステージの座標及び画像信号に基づき被検物の位置及び寸法を演算する演算部81とを備えた画像寸法計測装置において、ステージに固定された基準被検物と、運転開始時に演算部81で演算された基準被検物の位置及び寸法を記憶するメモリ82と、運転開始時から所定時間経過時に演算部で演算された基準被検物の位置及び寸法を記憶するメモリ83と、所定時間経過時に演算部で演算された被検物の位置及び寸法を記憶するメモリ84と、メモリ82、83に記憶された演算値に基づき補正値を算出する補正値算出部85と、メモリ84に記憶された演算値を補正値で補正する演算値補正部87とを備える。

請求項（抜粋）：

X軸及びY軸方向に移動可能なXYステージと、前記ステージ上に載置された被検物の像を受光してその位置及び形状に応じた画像信号を出力するカメラと、前記被検物の像が前記カメラで受光されるように前記ステージを移動させた時の前記ステージの座標及び前記画像信号に基づいて前記被検物の位置又は寸法の少なくとも一方を演算してその演算値を出力する演算手段とを備えた画像寸法計測装置において、前記ステージに固定された基準被検物と、前記基準被検物の位置又は寸法の少なくとも一方を前記演算手段により演算して、その第1演算値を記憶する第1記憶手段と、前記第1演算値を演算してから所定時間経過時に前記基準被検物の位置又は寸法の少なくとも一方を前記演算手段により演算してその第2演算値を記憶する第2記憶手段と、前記第1演算値と前記第2演算値とに基づき補正値を算出する補正値算出手段と、前記所定時間経過時に前記演算手段により演算された前記被検物の位置又は寸法の少なくとも一方の演算値を前記補正値で補正する補正手段とを備えていることを特徴とする画像寸法計測装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , G01B 11/02 , G02B 21/16

FI (3件)：

G01B 11/00 H , G01B 11/02 H , G02B 21/16

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-217208
特開平4-168304
特開昭63-217208

全件表示

前のページに戻る