特許

J-GLOBAL ID：200903058503241742

軟磁性合金膜

発明者： 斎藤 正路
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-034562
公開番号（公開出願番号）：特開平6-228716
出願日： 1993年01月29日
公開日（公表日）： 1994年08月16日
要約：

【要約】【目的】 本発明は軟磁気特性、熱的安定性及び耐蝕性に優れた軟磁性合金膜を提供することを目的とする。【構成】 本発明の合金はFea Lf Mc Bd Ce 、(Fe1-b Xb )a Lf Mc Bd Ce 、Fea Yg Mc Bd Ce 、(Fe1-b Xb )a Yg Mc Bd Ce 、及び(Fe1-b Xb )a Yg Lf Mc Bd Ce なる組成を有する軟磁性合金膜で、LはTi,V,Mo,Wのうち少なくとも1種または2種以上、MはZr,Nb,Hf,Taのうち少なくとも1種又は2種以上、 XはCo,Niのうち1種または2種YはCr,Cu,Ru,Rh,Pd,Ag,Ir,Pt,Auのうち少なくとも1種または2種以上の元素である。

請求項（抜粋）：

次式で示される組成からなる合金膜に熱処理を施すことにより作成された金属組織が基本的に平均結晶粒径0.08μm以下の結晶粒からなる軟磁性合金膜。Fea Lf Mc Bd Ce但し、LはTi,V,Mo,Wのうち少なくとも1種または2種以上、MはZr,Nb,Hf,Taのうち少なくとも1種又は2種以上の元素であり、その組成範囲は原子%で70≦a≦90、5≦c≦15、0.5≦d≦15、0.5≦e≦15、0.1≦f≦15、1≦d+e≦20である。

IPC (3件)：

C22C 38/00 303 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/34

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-242756
  
• 特開平1-028343
  
• 特開平4-333203