特許
J-GLOBAL ID：200903058506762182
ワーク搬送装置及び搬送方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-089527
公開番号（公開出願番号）：特開平9-278181
出願日： 1996年04月11日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：
【要約】【課題】ガラス基板等の薄板状ワークの搬送時に発生するたわみを低減し、ワーク搬送時に起因する品質悪化を防止して、歩留りや品質をより向上する。【解決手段】コンベア本体の左フレーム1と右フレーム2の間であって搬送方向に沿う略中央部分には、ガラス基板Gの下面に近接するように、市販の空気静圧軸受等に使用されるカーボン系の多孔質部材8が設けられる。この多孔質部材8は搬送方向に長く形成され、給気プレート9に保持されている。給気プレート9は搬送方向の両端に位置する連結部材3に保持されて、上方が開口した複数の給気溝10が形成されており、この開口を閉塞するように多孔質部材8が給気プレート9の上面に配置されている。多孔質部材8と給気プレート9とは静圧受ユニットを構成し、給気溝10に送り込まれた空気を多孔質材8からガラス基板Gの下面ヘ供給するようになっている。
請求項（抜粋）：
薄板状のワークを搬送するワーク搬送装置において、前記ワークの搬送方向に沿う両端付近を支持すると共に、該ワークを所定方向に搬送する支持搬送手段と、前記ワークの幅方向の中央部分付近を下方から空気を噴出することにより上方に押圧する押圧手段とを具備することを特徴とするワーク搬送装置。
引用特許：
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