共焦点型光学顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-143111
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325278
出願日： 1996年06月05日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】共焦点光学系の絞り径を測定に十分なS/Nが確保できる大きさに保ち、かつ光軸方向の分解能を向上させることのできる共焦点型光学顕微鏡を提供すること。【解決手段】試料の目的の深さ位置5からの光、当該目的の深さ位置5の近傍で、かつ光軸方向分解能以内の少なくとも1つの位置Y1,Y2からの光とをそれぞれ検出する検出手段7,10,13と、この検出手段7,10,13で検出した試料の各位置からの光をそれぞれ電気信号に変換する光電変換手段8,11,14と、この光電変換手段8,11,14で変換された各電気信号を処理して目的の深さ位置の情報を算出する処理手段17とを具備して構成された共焦点型光学顕微鏡である。

請求項（抜粋）：

共焦点光学系を介して試料の目的の深さ位置の情報を測定する共焦点型光学顕微鏡において、試料の目的の深さ位置からの光と、当該目的の深さ位置の前後で光軸方向分解能以内の少なくとも1つの位置からの光とをそれぞれ検出する検出手段と、前記検出手段で検出した試料の各位置からの光をそれぞれ電気信号に変換する光電変換手段と、前記光電変換手段で変換された各電気信号を処理して目的の深さ位置の情報を算出する処理手段とを具備したことを特徴とした共焦点型光学顕微鏡。

IPC (4件)：

G02B 21/00 , G01B 9/04 , G01B 11/22 , G02B 26/10

FI (4件)：

G02B 21/00 , G01B 9/04 , G01B 11/22 Z , G02B 26/10 F

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