特許
J-GLOBAL ID：200903058508621241
歩留阻害要因推定方法および歩留阻害要因推定システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-136400
公開番号（公開出願番号）：特開平10-326816
出願日： 1997年05月27日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：
【要約】【課題】 従来は、歩留阻害要因の特定に多大な時間を要していた。【解決手段】 検査結果収集用計算機1は検査ネットワーク7を通じて各検査装置または入力端末に接続され、ネットワーク5を介して検査結果演算用計算機2に接続されている。検査結果演算用計算機2はネットワーク6を介して進行管理用計算機3、不良原因推定用計算機4に接続されている。進行管理用計算機3は製造ネットワーク8を通じて各製造装置または入力端末に接続され、ネットワーク6を介して検査結果演算用計算機2、不良原因推定用計算機4に接続されている。不良原因推定用計算機4はネットワーク6を通じて検査結果演算用計算機2および進行管理用計算機3に接続され、演算処理結果表示用の表示装置4’を備えている。これにより、同一要因で歩留りが低下している複数の製品を簡便に確実に選択でき、工程処理実績の比較による要因工程の推定が容易となる。
請求項（抜粋）：
製品を製造するための複数工程からなる一連の工程、各々の工程に割り当てられ製品を処理する単数あるいは複数の装置、製造された製品の出来映えを検査する手段を備えた製造形態において、製品の各工程作業実績情報と、製品の出来映え検査結果の演算処理により得られた画像情報を用いて不良原因となる工程を特定することを特徴とする歩留阻害要因推定方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/66 Z
, H01L 21/66 J
, H01L 21/02 Z
