特許

J-GLOBAL ID：200903058521236667

多層構造体およびその検査方法

発明者： 荒井 敏 ,  中野 恵一
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-200087
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044655
出願日： 1997年07月25日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：

【要約】【課題】マーカを介しての各物体の位置ずれなどの状態を正確かつ簡単な方法で検出できる多層構造体及びその検査方法を提供する。【解決手段】所定のプロセスで形成される複数の物体を重ねることで構成される多層構造体において、物体の少なくとも2つが形成する境界部により構成される第1のマーカ101と、物体の少なくとも2つが形成する境界部により構成される第2のマーカ102とを備え、第1のマーカ101を形成する物体の組み合わせと、第2のマーカ102を形成する物体の組み合わせは異なるものとし、各マーカを形成する物体より更に上方に形成される他の物体は、各マーカの光学的検出を阻害しないように形成されている。

請求項（抜粋）：

所定のプロセスで形成される複数の物体を重ねることで構成される多層構造体において、前記物体の少なくとも2つが形成する境界部により構成される第1のマーカと、前記物体の少なくとも2つが形成する境界部により構成される第2のマーカとを備え、前記第1のマーカを形成する前記物体の組み合わせと、前記第2のマーカを形成する前記物体の組み合わせは異なるものとし、前記各マーカを形成する前記物体より更に上方に形成される他の物体は、前記各マーカの光学的検出を阻害しないように形成されていることを特徴とする多層構造体。