被加工物の分割方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐々木功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-160179
公開番号（公開出願番号）：特開2001-102329
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】フレーム及び被加工物をテープに貼着することによりテープを介してフレームに支持された被加工物を個々のペレットに分割する場合において、分割が不十分で隣り合うペレット同士が完全に分離していない場合にも、後のピックアップを個別に行えるようにし、また、搬送中に隣り合うペレット同士が接触してペレットが損傷するのを防止する。【解決手段】テープTを介してフレームFに支持されたチャックテーブル21と、フレームFを保持するフレーム保持手段22と、チャックテーブル21に保持された被加工物を分割する分割手段とを備えた分割装置を用い、分割の後、チャックテーブル21の表面部24からエアーを噴出してペレットPを支持したテープTを球面状に膨らますことにより、隣り合うペレットP同士を完全に分離させると共に、ペレットP間の間隔を広げる。

請求項（抜粋）：

フレーム及び被加工物をテープに貼着することにより該テープを介して該フレームに支持された該被加工物を保持するチャックテーブルと、該フレームを保持するフレーム保持手段と、該チャックテーブルに保持された該被加工物を分割する分割手段とを少なくとも備えた分割装置を用いて該被加工物を複数のペレットに分割する被加工物の分割方法であって、該チャックテーブルに保持された被加工物を該分割手段によって複数のペレットに分割する分割工程と、該分割工程が完了した後、該フレーム保持手段によって該フレームを保持したままの状態で、該チャックテーブルの表面からエアーを噴出して被加工物を支持したテープを球面状に膨らますテープ膨らまし行程とから少なくとも構成される被加工物の分割方法。

引用特許：

審査官引用 (5件)

ダイシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-236334 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開平4-282853
特開昭61-121453

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