特許
J-GLOBAL ID：200903058534586756
グロー放電発光分光分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
白木 大太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-319230
公開番号（公開出願番号）：特開2004-151042
出願日： 2002年11月01日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：
【課題】装置や試料の大型化を伴わず、迅速かつ確実に大気の侵入を防止することができる高精度のグロー放電分光分析方法及び装置を提供する。【解決手段】陽極管と、該陽極管と陰極の間に介在して試料を当接・支持する支持ブロックを有し、該陽極管と陰極の間に直流電圧又は高周波電圧を印加して試料をスパッタリングする給電手段を備えるグロー放電発光分光分析装置において、前記試料と支持ブロックの当接部に不活性ガス充満部を設けてなり、不活性ガス充満部は、試料押さえに嵌挿されその先端が支持ブロックに当接するリング状部材と、該リング状部材に取り付けられ、前記リング状部材を貫通して設けられたガス通路を通して不活性ガス充満室内を排気し又は不活性ガスを充満する不活性ガス供給管及び排気管によって構成される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
陽極管と、該陽極管と陰極の間に介在して試料を当接・支持する支持ブロックを有し、該陽極管と陰極の間に直流電圧又は高周波電圧を印加して試料をスパッタリングする給電手段を備えるグロー放電発光分光分析装置において、
前記試料と支持ブロックの当接部に不活性ガス充満部を設けてなり、不活性ガス充満部は、試料押さえに嵌挿されその先端が支持ブロックに当接するリング状部材と、該リング状部材に取り付けられ、前記リング状部材を貫通して設けられたガス通路を通して不活性ガス充満室内を排気し又は不活性ガスを充満する不活性ガス供給管及び排気管によって構成されるものであることを特徴とするグロー放電発光分光分析装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (11件)：
2G043AA01
, 2G043BA07
, 2G043BA09
, 2G043CA05
, 2G043EA09
, 2G043FA06
, 2G043GA07
, 2G043GB01
, 2G043GB17
, 2G043JA01
, 2G043MA01
