特許

J-GLOBAL ID：200903058541192259

露光装置および露光方法

発明者： 三輪 良則
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-350817
公開番号（公開出願番号）：特開2002-158155
出願日： 2000年11月17日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
要約：

【要約】【課題】 原版の周辺の露光ビーム光路における光吸収損失の低減と原版交換時間の短縮を両立させて実現し、高スループットの露光装置を提供する。【解決手段】 原版1上のパターンを光学系2を介して基板に転写する露光装置において、前記原版の露光位置を包囲する第1の筐体20と、前記原版を保管する第2の筐体17と、前記第1の筐体の内部と外部で前記原版を受け渡す第3の筐体11とを設け、各筐体の内部を所定の雰囲気に制御する。

請求項（抜粋）：

原版上のパターンを光学系を介して基板に転写する露光装置において、前記原版の露光位置を包囲する第1の筐体と、前記原版を保管する第2の筐体と、前記第1の筐体の内部と外部で前記原版を受け渡す第3の筐体とを有し、各筐体の内部を所定の雰囲気に制御することを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G03F 7/20 502 ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 516 F

Fターム (36件)：

2H097AA03 ,  2H097BA02 ,  2H097BA10 ,  2H097CA13 ,  2H097DA03 ,  2H097DA06 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  5F031CA07 ,  5F031DA08 ,  5F031DA11 ,  5F031DA17 ,  5F031EA14 ,  5F031FA04 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA50 ,  5F031JA01 ,  5F031JA23 ,  5F031JA45 ,  5F031JA50 ,  5F031MA13 ,  5F031MA27 ,  5F031NA04 ,  5F031NA05 ,  5F031NA08 ,  5F031NA11 ,  5F031PA06 ,  5F046AA22 ,  5F046DA27 ,  5F046DB03