特許

J-GLOBAL ID：200903058546785630

液晶表示装置とその製造方法

発明者： 阿武 恒一 ,  河内 玄士郎
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-243015
公開番号（公開出願番号）：特開平6-095147
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】本発明は、特性を低下させずに金属酸化物透明導電膜を形成し、前記透明導電膜パターン作成を容易にすることを目的とする。【構成】金属酸化物透明導電膜の母材となる金属を用いて、画素電極7や補助容量電極12の所望のパターンを作成した後、画像信号電極配線8より電流を供給して、前記金属パターンを水溶液又は酸素プラズマ中で陽極酸化することにより、金属酸化物透明導電膜パターンを形成することを特徴とする液晶表示装置とその製造方法。【効果】パターニング時のエッチング残渣による不良を低減する効果がある。また形成された金属酸化物透明導電膜の特性を低下させることもない。

請求項（抜粋）：

マトリクス状に配置された複数個の画像信号電極配線と非線形素子と画素電極を備えた液晶表示装置において、金属酸化物透明導電膜の母材となる金属を用いて作成された金属不透明画素電極を、画像信号電極配線より電流を供給し陽極酸化法を用いて酸化して、金属酸化物透明画素電極とする工程を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (2件)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 29/784

FI (2件)：

H01L 29/78 311 A ,  H01L 29/78 311 G