特許

J-GLOBAL ID：200903058552738970

高純度β型炭化ケイ素焼結体の製造方法

発明者： 宮崎 忠昭 ,  和田 宏明 ,  山田 知治
出願人/特許権者： 株式会社ブリヂストン
代理人 (1件)： 中島 淳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-147620
公開番号（公開出願番号）：特開平5-339057
出願日： 1992年06月08日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：

【要約】【目的】 複雑な形状の寸法安定性を損なうことなく、炭化ケイ素の含有量が高く、高純度であり、かつ生産性の高いβ型炭化ケイ素焼結体の製造方法を提供する。【構成】 炭素量が10重量%以下の高純度β型炭化ケイ素-炭素混合粉末に高純度フェノール樹脂とアルキルフタレートを加え、得られた成形体を熱処理後、これに高純度ケイ素融液を含浸させ、これを反応焼結することからなる高純度β型炭化ケイ素焼結体の製造方法。

請求項（抜粋）：

液状の高純度ケイ素化合物と、官能基を有し加熱により炭素を生成する液状の高純度有機化合物を原料として、これに均一に溶化する高純度の重合又は架橋触媒を加え、重合又は架橋反応させた前駆体物質を非酸化性雰囲気中で加熱炭化し、得られた中間体生成物を非酸化性雰囲気中でさらに高温で焼成し、得られた高純度β型炭化ケイ素-炭素混合粉末に、バインダーを加え成形し、加熱硬化した成形体を熱処理後、これに炭素のケイ化剤を含浸させ、これを反応焼結させることからなるβ型炭化ケイ素焼結体の製造方法において、該中間体生成物中の炭素/ケイ素のモル比が2.2〜3.5であり、該高純度β型炭化ケイ素-炭素混合粉末中の炭素量が10重量%以下であり、該バインダーが高純度のレゾール型又はノボラック型フェノール樹脂であり、該炭素のケイ化剤が高純度ケイ素融液であり、該β型炭化ケイ素焼結体中の各不純物元素の含有量が1ppm以下であることを特徴とする高純度β型炭化ケイ素焼結体の製造方法。