特許
J-GLOBAL ID：200903058562159499
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-258191
公開番号（公開出願番号）：特開平8-122341
出願日： 1994年10月24日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】本発明では、カンチレバーの振動の過渡特性に基づき、走査時間の最適化を図り、試料表面の凹凸測定と磁気力勾配の影響測定とを測定点毎に行ない、試料の凹凸と磁気力分布を分離して検出する走査型プローブ顕微鏡を提供することを目的とする。【構成】本発明は、磁性探針1を有するカンチレバー2と、カンチレバーを試料表面と垂直方向に振動させるz軸変調信号発生装置4と、その変位を検出する光学変位検出部6と、その変位信号から振動振幅を一定にする振幅検出器7,3次元アクチュエータ8及び参照信号発生器12からなるサーボ部と、予め測定したカンチレバーの振動の過渡特性で探針1を適正速度で走査するxy走査装置10及び3次元アクチュエータ8と、サーボ部の制御信号と走査部の走査信号により試料表面の凹凸を画像化する画像解析装置13とで構成される。
請求項（抜粋）：
片持ち梁追構造を成し、その自由端に探針を有するカンチレバーと、前記カンチレバーを測定試料に近接若しくは接触可能であって、該カンチレバーを所定の振動周波数及び、所定の振幅で励振する励振手段と、前記カンチレバーの変位量を検出する手段と、前記カンチレバーの振動振幅を検出する振幅検出手段と、前記振動振幅の変動を検出する変動検出手段と、前記振幅検出手段によって検出された振幅信号に基づいて、前記カンチレバーと前記測定試料との間の距離を一定に維持させるサーボ手段と、前記探針を前記測定試料に対して相対的に走査させる走査手段と、前記走査手段の移動速度を前記振動振幅の変動速度に基づき限定する手段と、前記サーボ手段の出力を元に前記測定試料の凹凸を解析する画像解析手段と、前記各手段に動作タイミングや諸設定値の指令を出すコントロール手段と、を具備することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
