特許
J-GLOBAL ID：200903058564833642
抵抗測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-268077
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106388
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】本発明は、抵抗測定装置において、経時変動要因である自然酸化膜の影響を受けることなく安定した測定結果を得ることができるようにする。【構成】測定部における抵抗値の測定開始の直前に半導体ウエハ上に成長した自然酸化膜を除去し、この半導体ウエハの抵抗値を不活性ガスの流れる測定室内において測定する。これにより常に自然酸化膜のない状態で抵抗値を測定することができる。この結果、経時変動の影響のない安定した測定結果を得ることができる。
請求項（抜粋）：
上記半導体ウエハ上に成長した自然酸化膜を測定開始の直前に除去する酸化膜除去部と、不活性ガスが流入される測定室を有し、当該測定室内において自然酸化膜が除去された半導体ウエハについて抵抗値を測定する測定部と、上記酸化膜除去部及び上記測定部を連絡する搬送通路と、上記半導体ウエハを上記酸化膜除去部から上記搬送通路を介して上記測定部へ搬送する搬送手段とを具えることを特徴とする抵抗測定装置。
IPC (2件)：
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