基板上への焼結体の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外6名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-536896
公開番号（公開出願番号）：特表平11-508326
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】本発明は、基板上へ焼結体構造を製造する方法に関する。この目的のため、(マルチプリントヘッド)インクジェットプリンタを用いて、前記基板上へ粒子を含有する液体を堆積する。続いて、前記液体を蒸発させ、前記液体中に含まれる粒子を各層毎に焼結する。このように各層毎にレーザ焼結を行うことにより、高い寸法精度を有する3次元生成物を得ることができる。好ましくは、前記液体の蒸発を(同じ)レーザを用いて行う。前記液体は、ガラス、セラミックス、又は金属化合物を含み、ゾル・ゲル状あるいはコロイド状を呈することが好ましい。

請求項（抜粋）：

粒子を含有した液体を、インクジェットプリンタを用いて基板上に堆積し、その後、前記液体を蒸発させ、液体中に存在する粒子を焼結して、基板上に焼結体を製造するに当たり、前記粒子をレーザを用いて焼結することを特徴とする基板上への焼結体の製造方法。

IPC (6件)：

B22F 7/04 , B22F 3/105 , C04B 35/64 , H01L 49/00 , H05K 3/10 , H05K 3/46

FI (6件)：

B22F 7/04 A , H01L 49/00 Z , H05K 3/10 D , H05K 3/46 H , B22F 3/10 N , C04B 35/64 Z

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開平4-211935
特開平3-146606
特開平1-127630

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審査官引用 (10件)

特開平4-211935
特開平3-146606
特開平1-127630

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