研削装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小野尚純 , 奥貫佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-388136
公開番号（公開出願番号）：特開2005-150528
出願日： 2003年11月18日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：

【課題】ウエーハを収容するのにコインスタックキャリアーを利用する場合にウエーハの搬送に複数の搬送系が必要で、装置自体が大掛かりになり、コスト高になる問題、またウエーハを収容するのにカセットを利用する場合にはカセットを利用できる研削装置を別途用意しなければならない、などの問題を解決する。【解決手段】ウエーハ搬出入手段(8)にベルヌーイパッドと摩擦部材を備えウエーハを確実に吸着保持できるようにし、コインスタックキャリアー(6)及びカセット(4)のいずれにも用いることがきるようにし、さらにウエーハケース載置部(A、B)にコインスタックキャリアー(6)及びカセット(4)を選択的に載置できるようにする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削手段と、ウエーハを収容したウエーハケースが載置されるウエーハケース載置部と、該ウエーハケースからウエーハを搬出入するウエーハ搬出入手段とを備え、該ウエーハ搬出入手段は、ウエーハを保持する保持部と、該保持部を移動させる移動部とを備え、該保持部はウエーハを非接触で支持する2以上のベルヌーイパッドと、該ベルヌーイパッドが配設されるパッド本体とを含み、該パッド本体には、該ベルヌーイパッドがウエーハの被保持面を支持した際、ウエーハが該ベルヌーイパッドに対して水平方向に移動しないようにウエーハの被保持面に接触して水平方向の移動を規制する摩擦部材が備えられている、ことを特徴とする研削装置。

IPC (4件)：

H01L21/68 , B23Q7/04 , B24B41/06 , B65G49/07

FI (5件)：

H01L21/68 C , H01L21/68 A , B23Q7/04 K , B24B41/06 A , B65G49/07 H

Fターム (28件)：

3C033BB04 , 3C033HH16 , 3C033HH26 , 3C034AA08 , 3C034AA13 , 3C034BB81 , 5F031CA02 , 5F031CA09 , 5F031DA09 , 5F031DA17 , 5F031EA10 , 5F031FA01 , 5F031FA05 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA08 , 5F031GA24 , 5F031GA26 , 5F031GA28 , 5F031GA36 , 5F031GA43 , 5F031HA13 , 5F031JA06 , 5F031JA45 , 5F031JA49 , 5F031MA22 , 5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (10件)

研削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-248104 出願人：株式会社ディスコ
非接触搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-044173 出願人：株式会社ハーモテック
特開昭63-008135

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審査官引用 (10件)

研削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-248104 出願人：株式会社ディスコ
非接触搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-044173 出願人：株式会社ハーモテック
特開昭63-008135

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