特許
J-GLOBAL ID：200903058585641255
マトリックス電極振動子およびそのセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-005791
公開番号（公開出願番号）：特開平8-193854
出願日： 1995年01月18日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：
【要約】【目的】 微小で、高感度で、マルチチャンネル化が可能なマトリックス水晶振動子センサを提供する。【構成】 水晶振動子板2と、該水晶振動子板2の一方面に形成された少なくとも1本の帯状電極3と、該水晶振動子板2の他方面に該帯状電極3と略直交方向となるように形成された複数の帯状電極3とから構成されてなる。
請求項（抜粋）：
水晶振動子板と、該水晶振動子板の一方面に形成された少なくとも1本の帯状電極と、該水晶振動子板の他方面に該帯状電極と略直交方向となるように形成された複数の帯状電極とからなることを特徴とするマトリックス電極振動子。
IPC (2件)：
引用特許：
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