液晶表示装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-015250
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214487
出願日： 1999年01月25日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】下地への付着生が良好な配線膜を用いて、歩留まりの高い、低コストな液晶表示装置を提供する。【解決手段】ゲート配線と、データ配線の少なくとも一方に、Mo-Zr層と、Mo-Hf層の内の少なくとも1層を有する多層膜を用いることで、歩留りの高い、安価な液晶表示装置を提供できる効果がある。

請求項（抜粋）：

複数のゲート配線と、前記複数のゲート配線に交差するように形成された複数のデータ配線と、前記ゲート配線と前記データ配線の交点付近に形成された薄膜トランジスタと、前記ゲート配線を被覆するゲート絶縁膜とを有する基板と、前記基板に対向する対向基板と、前記基板と前記対向基板との間に挟持された液晶層とを有する液晶表示装置であって、前記ゲート配線と前記データ配線の少なくとも一方が多層金属膜であって、その構成層として少なくとも、Moを主体としたZr,Hfのいずれか一方を含有する金属膜層と、金属膜層とAlを主体とした金属膜層を有する多層金属膜であることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (3件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1343 , H01L 29/786

FI (4件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1343 , H01L 29/78 612 C , H01L 29/78 617 L

Fターム (40件)：

2H092GA17 , 2H092GA25 , 2H092GA34 , 2H092HA06 , 2H092JA24 , 2H092JA34 , 2H092JA41 , 2H092JB51 , 2H092MA05 , 2H092MA08 , 2H092MA13 , 2H092MA19 , 2H092MA29 , 2H092NA18 , 2H092NA29 , 5F110AA30 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE03 , 5F110EE06 , 5F110EE15 , 5F110EE44 , 5F110FF03 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG24 , 5F110GG35 , 5F110GG45 , 5F110HK04 , 5F110HK06 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK33 , 5F110NN04 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110QQ04 , 5F110QQ05 , 5F110QQ09

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