特許
J-GLOBAL ID:200903058588004116
三次元形状測定方法、装置、及びフォーカス調整方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
小谷 悦司
, 伊藤 孝夫
, 樋口 次郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-160088
公開番号(公開出願番号):特開2007-327882
出願日: 2006年06月08日
公開日(公表日): 2007年12月20日
要約:
【課題】測定奥行の位置調整を迅速且つ的確に行うことができるようにする。【解決手段】スリット光を測定対象物10Dに投光すると共にその反射光を受光し、測定対象物10Dについての二次元画像を取得する動作を、フォーカス距離を変えて所定回数繰り返す。フォーカス距離を変えて取得された二次元画像の各々について、複数のエリアA〜Gで像面コントラストを算出する。像面コントラストが所定の閾値を超過する高コントラスト領域を、各フォーカス距離で取得された二次元画像毎に抽出する。この高コントラスト領域について三角測量を行い、各エリアの距離情報を取得する。この距離情報に基づき、各エリアが所定の測定奥行aを有する測定範囲20Eに含まれるよう、測定範囲20Eの合わせ込み調整を行う。【選択図】図20
請求項(抜粋):
測定範囲として合焦位置の前後に所定の測定奥行をもつ非接触型の三次元形状測定装置を用い、測定対象物に対するフォーカス調整を行った後、三次元形状の測定動作を行う三次元形状測定方法において、
前記フォーカス調整として、
所定のパターン光を測定対象物に投光すると共にその反射光を受光して前記測定対象物についての二次元画像を取得する動作と、取得された二次元画像について複数の領域で像面コントラストを算出する動作とを、フォーカス距離を変えて所定回数繰り返すステップと、
前記像面コントラストが所定の閾値を超過する高コントラスト領域を、各フォーカス距離で取得された二次元画像毎に抽出するステップと、
前記高コントラスト領域に対応する前記測定対象物上の位置と、前記投光及び受光の位置とに基づいて、三角測量により距離情報を取得するステップと、
前記距離情報に基づき当該測定対象物についての前記測定範囲の合わせ込み調整を行うステップと
を含むことを特徴とする三次元形状測定方法。
IPC (4件):
G01B 11/25
, G02B 7/28
, G02B 7/32
, G02B 7/36
FI (4件):
G01B11/25 H
, G02B7/11 N
, G02B7/11 B
, G02B7/11 D
Fターム (29件):
2F065AA22
, 2F065AA51
, 2F065AA53
, 2F065FF04
, 2F065FF09
, 2F065FF10
, 2F065FF44
, 2F065HH07
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065QQ08
, 2F065QQ27
, 2F065QQ31
, 2H051AA00
, 2H051BA70
, 2H051BB13
, 2H051BB16
, 2H051BB19
, 2H051CC02
, 2H051CC04
, 2H051CC07
, 2H051CC08
, 2H051CC10
, 2H051CE24
, 2H051DA02
, 2H051DA03
, 2H051DA07
, 2H051DA22
, 2H051DB01
引用特許:
出願人引用 (7件)
-
3次元形状入力装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-138927
出願人:コニカミノルタセンシング株式会社
-
焦点検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-266226
出願人:株式会社ニコン
-
特公平8-16608号公報
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審査官引用 (3件)
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