露光照明装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-169778
公開番号（公開出願番号）：特開平8-037139
出願日： 1994年07月21日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：

【要約】【構成】移動散乱媒体2はレーザ光源1から出射されたレーザビームを散乱する。集光レンズ3は移動散乱媒体2により散乱されたレーザビームを適当な径の光束に集光する。重ね合わせ用プリズム4は集光レンズ3で集光されたレーザビームをフライアイレンズ5の入射面に所定長角の矩形として集める。フライアイレンズ5は重ね合わせ用プリズム4とこの重ね合わせ用プリズム4を介したレーザビームの強度分布を均一化する。コンデンサーレンズ6はフライアイレンズ5を介することによって強度分布の均一化が図られたレーザビームを露光パターンが形成されている露光用マスク7に露光照明光として照射する。対物レンズ8は露光パターンに応じた透過光をウェハ9上に結像する。【効果】小型で安価な光源を用いることができ、しかも均一でむらが無く、スペックルも生じさせず、かつ高い光源利用率を達成できる。

請求項（抜粋）：

光源からの出射光を露光部に導く照明光学系を有する露光照明装置において、上記光源と上記露光部間の光路中に配され、散乱状態が変化する移動散乱媒体と、上記移動散乱媒体からの散乱光を集光する集光手段と、上記集光手段で集光された光の強度分布を均一化する強度分布均一化手段とを有することを特徴とする露光照明装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03B 27/72 , G03F 7/20 505 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 527 , H01L 21/30 515 D

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