特許
J-GLOBAL ID：200903058592620212
チップの観察装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-134685
公開番号（公開出願番号）：特開平5-332738
出願日： 1992年05月27日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：
【要約】【目的】 明るい背景の中にチップを暗く観察することと、暗い背景の中にチップを明るく観察することを選択できるチップの観察装置を提供する。【構成】 ノズル4にチップPを吸着する移載ヘッド1へ向かって光を照射する第1の光源8及び第2の光源9と、移載ヘッド1の下部に積層して設けられた光拡散板2及びフィルター3とを構成し、第1の光源8と第2の光源9のフィルター3に対する分光特性を異ならせた。したがって第1の光源8と第2の光源9を切り替えることにより、明暗コントラストを変えることができる。
請求項（抜粋）：
ノズルにチップを吸着する移載ヘッドへ向かって光を照射する第1の光源及び第2の光源と、前記移載ヘッドの下部に積層して設けられた光拡散板及びフィルターと、この光拡散板及び前記チップに反射された光が入射するカメラとを備え、前記第1の光源と第2の光源の前記フィルターに対する分光特性を異ならせたことを特徴とするチップの観察装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01N 21/84
, G01N 21/88
, G03B 15/00
