半導体ウェーハ等の被搬送物の搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：斎藤春弥 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-231861
公開番号（公開出願番号）：特開平10-106964
出願日： 1995年05月18日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】半導体ウェーハ等の被搬送物の移載待ち時間を無くし、複数の被搬送物を順次連続して所定方向へ自動的に搬送できるようにすること。【解決手段】半導体ウェーハ等の被搬送物3を収納し、反応チェンバ等の容器1、容器1内の入口から出口方向へ沿って内蔵され円周方向に交互に配置される第1の回転支柱4a、4c、4eと第2の回転支柱4b、4d、4f、これらの各回転支柱を駆動する駆動機構9a〜9f、第1の回転支柱4a等と第2の回転支柱4b等の長手方向に設けられる被搬送物3を支持するための複数個の支持体10a、10b等を備え、第1の回転支柱4a等と第2の回転支柱4b等とが駆動機構9a〜9fにより交互に行う所定角度の時計方向又は反時計方向の回転によって、被搬送物3を1つずつ容器の入口側から出口側へと連続的に搬送するように構成した。

請求項（抜粋）：

半導体ウェーハ等の被搬送物を収納し、この被搬送物を外部から遮断し、当該容器の入口から出口へ延びる容器、この容器内の入口から出口方向へ沿って内蔵され円周方向に交互に配置される複数本の第1の回転支柱と複数本の第2の回転支柱、これらの各回転支柱を駆動する駆動装置、前記第1の回転支柱と前記第2の回転支柱の長手方向に設けられる被搬送物を支持するための複数個の支持体を備え、まず、第1の回転支柱と第2の回転支柱に付属する全部の支持体により被搬送物を支持している初期状態において、第1サイクルの区間は第2の回転支柱をその駆動装置の作動により所定角度だけ回転して第2の回転支柱に付属の支持体を外方に向けて被搬送物から解放し、第1の回転支柱の駆動装置の作動により、第1の回転支柱の各支持体により被搬送物を支持して容器の出口方向へ被搬送物を1段階移動させ、次に、第2サイクルの区間では、第2の回転支柱をその駆動装置の作動により所定角度だけ前記とは逆方向に回転して付属の支持体を内方に向けて被搬送物を支持する状態とした後、第1の回転支柱をその駆動装置の作動により所定角度だけ回転して付属の支持体を外方に向け被搬送物から解放し、被搬送物を第2の回転支柱の各支持体による支持にゆだねて第1の回転支柱は容器の入口方向に1段階戻し、さらに、第1の回転支柱をその駆動装置の作動により所定角度だけ前記とは逆方向に回転して付属の支持体を内方に向けて次の被搬送物の搬送を行う初期状態とするようにし、以下前記の第1サイクル及び第2サイクルの各区間の動作を行うというように前記各区間の第1及び第2の回転支柱の基本動作を繰り返すことにより被搬送物を1つずつ容器の入口側から出口側へと連続的に搬送するようにしたことを特徴とする半導体ウェーハ等の被搬送物の搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/22 511 , H01L 21/22 , H01L 21/205

FI (4件)：

H01L 21/22 511 B , H01L 21/22 511 G , H01L 21/22 511 J , H01L 21/205

前のページに戻る