特許

J-GLOBAL ID：200903058606882118

ガラス板の表面加工方法

発明者： 田中 弘明 ,  屋鋪 博 ,  市川 真也 ,  吉田 明利
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 田中 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-228275
公開番号（公開出願番号）：特開2001-054858
出願日： 1999年08月12日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：

【要約】【目的】本発明は、ガラス板のポリッシング加工において、特に極めて高い仕上げでの鏡面仕上げを効率よく施すための加工方法の提供を目的とする。【構成】複数個のペレット状樹脂を貼付し、該ペレット状樹脂の頂部平坦部にて研磨作用面を形成した上下両定盤の間に、ガラス板を挟持し圧接しながら、前記上下両定盤および前記ガラス板の少なくとも一つを回転させ、加工面に酸化セリウム微粒子を含む水系スラリーを供給しつつ、加工を行なうことを特徴とするガラス板の表面加工方法にて達成される。

請求項（抜粋）：

複数個のペレット状樹脂を貼付し、該ペレット状樹脂の頂部平坦部にて研磨作用面を形成した上下両定盤の間に、ガラス板を挟持し圧接しながら、前記上下両定盤および前記ガラス板の少なくとも一つを回転させ、加工面に酸化セリウム微粒子を含む水系スラリーを供給しつつ、加工を行なうことを特徴とするガラス板の表面加工方法。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  B24B 37/00

FI (2件)：

B24B 37/04 A ,  B24B 37/00 H

Fターム (13件)：

3C058AA01 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA18 ,  3C058AB08 ,  3C058AC04 ,  3C058CA01 ,  3C058CB03 ,  3C058CB05 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA06 ,  3C058DA09