特許

J-GLOBAL ID：200903058607570128

半導体製造システム及び半導体製造装置の管理方法

発明者： 下村 昭彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-333193
公開番号（公開出願番号）：特開平11-168047
出願日： 1997年12月03日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造システムにおいて、オペレータがシステムの傍らにいなくても、処理が停止したことを瞬時にオペレータに知らせることを目的とする。【解決手段】 半導体製造装置SPEにエラー又はオペレータコールが発生したときに、上位コンピュータH・COMは、電話回線を介してオペレータが所持している携帯電話OPに電話をすることでオペレータに知らせる。そして、オペレータからの、音声又はダイヤル等で直ちに駆けつけられるか否か等の応答を受信部RCで受信する。

請求項（抜粋）：

半導体製造工程で使用される複数台の半導体製造装置と、当該半導体製造装置毎の装置情報を管理する上位コンピュータとで構成される半導体製造システムにおいて、前記上位コンピュータが管理する前記装置情報を所定の回線で送信可能な信号に変換する変換手段と、前記変換手段により変換された前記装置情報を前記回線上で所定の発信先へ発信する発信手段と、を備えることを特徴とする半導体製造システム。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  G05B 15/02 ,  G06F 17/60 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/68 ,  G06F 13/00 351

FI (6件)：

H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/68 A ,  G06F 13/00 351 B ,  G05B 15/02 M ,  G06F 15/21