特許
J-GLOBAL ID：200903058613362073
シート状製品の外形形状を計測する方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-213133
公開番号（公開出願番号）：特開2003-028612
出願日： 2001年07月13日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：
【要約】【課題】高い精度のXY軸移動機構を使用しなくても、XY座標を高い精度で計測することができるXY座標計測装置を提供する。【解決手段】計測対象の物品を載置する固定ステージに対して相対的に移動可能な移動ステージをY軸方向に移動するとともにその移動ステージのY座標である移動ステージY座標を出力するY軸移動手段と、移動ステージにおいてX軸方向に配列した複数のエリアセンサカメラから成り計測対象の物品における所定の個所を撮像し撮像信号を出力する撮像手段と、移動ステージのすくなくとも2個所における変位を計測し移動ステージ変位を出力する変位計測手段と、移動ステージY座標と撮像信号に基づいて所定の個所のXY座標を算出するとともに移動ステージの移動誤差に起因するXY座標に含まれる誤差を移動ステージ変位に基づいて補正し補正済XY座標を算出する処理手段を有するXY座標計測装置。
請求項（抜粋）：
Y軸移動手段と、撮像手段と、変位計測手段と、処理手段とを具備するXY座標計測装置であって、前記Y軸移動手段は、計測対象の物品を載置する固定ステージに対して相対的に移動可能な移動ステージをY軸方向に移動するとともに、その移動ステージのY座標である移動ステージY座標を出力し、前記撮像手段は、前記移動ステージにおいてX軸方向に配列した複数のエリアセンサカメラから成り、前記計測対象の物品における所定の個所を撮像し撮像信号を出力し、前記変位計測手段は、前記移動ステージのすくなくとも2個所における変位を計測し移動ステージ変位を出力し、前記処理手段は、前記移動ステージY座標と前記撮像信号に基づいて前記所定の個所のXY座標を算出するとともに、前記移動ステージの移動誤差に起因する前記XY座標に含まれる誤差を前記移動ステージ変位に基づいて補正し補正済XY座標を算出する、ことを特徴とするXY座標計測装置。
Fターム (17件)：
2F065AA03
, 2F065AA12
, 2F065AA51
, 2F065CC02
, 2F065EE00
, 2F065FF04
, 2F065FF67
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065PP02
, 2F065QQ07
, 2F065QQ24
, 2F065QQ26
, 2F065QQ28
, 2F065QQ31
, 2F065SS03
, 2F065SS13
