特許

J-GLOBAL ID：200903058617569551

加工装置及び研削装置

発明者： 布臺 雄司
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-132728
公開番号（公開出願番号）：特開2003-326458
出願日： 2002年05月08日
公開日（公表日）： 2003年11月18日
要約：

【要約】【課題】 加工時に加工水を使用する加工装置において、加工水の無駄な使用を防止して経済性を高める。【解決手段】 被加工物を保持する保持手段17、18、19と、保持手段17、18、19に保持された被加工物に加工水を供給する加工水供給手段25と、被加工物に加工を施す加工手段21、22とを少なくとも備えた加工装置であって、加工水供給手段25から流出した加工水を集める集水手段27と、集水手段27から加工水供給手段25に加工水を流通させる循環経路29と、集水手段27から加工水を排水する排水経路30と、集水手段27から流出する加工水を循環経路29と排水経路30とに選択的に導く選択手段28とから構成される節水機構を備え、制御手段24による選択手段28の切り替えによって、加工に寄与していない加工水を、循環経路29を介して加工水供給手段25に流入させて再利用する。

請求項（抜粋）：

被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物に加工水を供給する加工水供給手段と、該保持手段に保持された被加工物に加工を施す加工手段とを少なくとも備えた加工装置であって、該加工水供給手段から流出した加工水を集める集水手段と、該集水手段から該加工水供給手段に加工水を流通させる循環経路と、該集水手段から加工水を排水する排水経路と、該集水手段から流出する加工水を該循環経路と該排水経路とに選択的に導く選択手段とから構成される節水機構を備えた加工装置。

IPC (2件)：

B24B 55/03 ,  H01L 21/304 631

FI (2件)：

B24B 55/03 ,  H01L 21/304 631

Fターム (4件)：

3C047FF04 ,  3C047FF08 ,  3C047GG08 ,  3C047GG13