特許
J-GLOBAL ID：200903058621429098
超純水の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-187660
公開番号（公開出願番号）：特開平7-016580
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：
【要約】【目的】 超純水中の代表的な酸化性物質である溶存酸素を1ppb以下に除去しうる超純水の製造方法を提供すること。【構成】 一次純水装置1から流出した処理液を紫外線酸化装置4に通水した後、還元性樹脂を強塩基性イオン交換樹脂層の上部に積層した積層イオン交換樹脂装置5、混床式イオン交換樹脂装置6及び限外濾過装置7に順次通水することを特徴とする超純水の製造方法である。
請求項（抜粋）：
一次純水装置から流出した処理液を超純水製造システムに供給して超純水を製造する方法において、処理液を還元性樹脂と接触させて処理液中の酸化性物質を除去することを特徴とする超純水の製造方法。
IPC (5件)：
C02F 1/70
, C02F 1/32
, C02F 1/42
, C02F 1/44
, C02F 9/00
