特許
J-GLOBAL ID：200903058625884300
ガーネツト導波路およびその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-247285
公開番号（公開出願番号）：特開平5-088037
出願日： 1991年09月26日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 低伝搬損失で、かつ光が伝搬する部位の材料とクラッド層の材料との屈折率差を制御性よく設定できるガーネット3次元導波路およびその作製方法を提供することにある。【構成】 基板上にランタン、ガリウムおよびイットリウムを含有する鉄ガーネットからなるコア部5またはリッジ部7と、クラッド部6が形成されたガーネット導波路の作製方法であって、前記コア部またはリッジ部とクラッド部は、液相エピタキシャルにより堆積され、かつ前記コア部またはリッジ部は、エッチングにより所望の形状に加工され、前記液相エピタキシャルの成長温度を変えることにより、前記コア部またはリッジ部とクラッド部に屈折率差を与える。
請求項（抜粋）：
クラッド層により閉じ込められたコア部またはクラッド層上に形成されたリッジ部を有する導波路において、コア部またはリッジ部とクラッド層の材料にランタンとガリウムとイットリウムを含有した鉄ガーネットを用いたことを特徴とするガーネット導波路。
引用特許：
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