特許
J-GLOBAL ID：200903058629161779
移載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-038479
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236597
出願日： 1995年02月27日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】【目的】自重で撓むような板体を確実の吸着して処理ステージ間で搬送できるようにした移載アームを備えた移載装置を提供する。【構成】本体に対して少なくとも水平方向に伸縮する移載アーム2を備えた移載装置において、前記移載アーム2の板体載置領域にデルタ配置した3個の吸着器3を備えた。
請求項（抜粋）：
本体に対して少なくとも水平方向に伸縮する移載アームを備えた移載装置において、前記移載アームの板体載置領域にデルタ配置した3個の吸着器を備えたことを特徴とする移載装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, G03F 7/16 501
H01L 21/68 A
, G03F 7/16 501
