特許

J-GLOBAL ID：200903058639176464

光スペクトラムアナライザ

発明者： 谷本 隆生 ,  津田 幸夫
出願人/特許権者： アンリツ株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-049855
公開番号（公開出願番号）：特開平5-248952
出願日： 1992年03月06日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】 印加電圧によってキャビティ長が変化するエタロン分光器16が組込まれた光スペクトラムアナライザにおいて、相対波長でなくて、絶対波長を確度よく測定する。【構成】 基準光bを入射した場合におけるエタロン分光器16の各共振キャビティ長における基準印加電圧および共振波長を記憶し、かつ実際に被測定光aに対する測定を開始する前に、基準光bを入射させて前記記憶された基準印加電圧を修正する。そして、光切換器13を介して被測定光aがエタロン分光器16に入射した状態において、各基準印加電圧および各偏差電圧を用いて前記被測定光測定時の印加電圧を求めスペクトラムを測定する。

請求項（抜粋）：

基準波長を有した基準光を出力する基準光源(14)と、外部からの印加電圧に応じてキャビティ長が変化し、入射光の波長の整数倍の長さが前記キャビティ長と等しくなったとき光を出力するエタロン分光器(16)と、前記印加電圧を変化させた場合における前記エタロン分光器の出射光を検出する受光器(19b) と、前記基準光を前記エタロン分光器に入射したときの各共振キャビティ長に対応する各基準印加電圧および前記各共振キャビティ長における共振波長を記憶する波長変換データメモリ(24a) と、前記エタロン分光器に対する入射光を前記基準光または外部から入力される被測定光に切換える光切換器(13)と、この光切換器が前記入射光を前記基準光に切換えた状態で、前記印加電圧を変化させた場合に前記受光器にて各光を検出したときの印加電圧を検出する電圧検出手段(P4)と、前記検出された各印加電圧と前記各基準印加電圧との間の各偏差電圧を記憶する修正データメモリ(24b) と、前記各基準印加電圧および各偏差電圧を用いて被測定光測定時の印加電圧を補正する被測定光印加電圧補正手段(P10) とを備えた光スペクトラムアナライザ。