特許

J-GLOBAL ID：200903058653333459

三フッ化塩素ガスの除去方法

発明者： 中川 伸介 ,  市丸 広志
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 坂本 栄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-140797
公開番号（公開出願番号）：特開平5-331630
出願日： 1992年06月01日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：

【要約】【目的】CVD装置、真空蒸着装置、スパッタリング装置において、炉壁、器壁、治具・配管等に付着したスケールを三フッ化塩素ガスでクリーニングした後、炉壁、器壁、治具・配管等に吸着した三フッ化塩素ガスを除去する。【構成】三フッ化塩素ガスを吸着した容器内に1mmHg以上の分圧の水蒸気を含んだ空気またはガスを導入する。

請求項（抜粋）：

容器内の三フッ化塩素ガスを除去するに際し、1mmHg以上の分圧の水蒸気を含んだ空気またはガスを用いることを特徴とする三フッ化塩素ガスの除去方法。

IPC (3件)：

C23C 14/22 ,  C01B 7/24 ,  H01L 21/304 341

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-190472
  
• 特開平3-094059
  
• 特開平2-085358