特許

J-GLOBAL ID：200903058657561383

イミド系感光性樹脂組成物、絶縁膜およびその形成法

発明者： 石川 誠治 ,  西尾 一章 ,  山本 茂 ,  田口 三津志
出願人/特許権者： 宇部興産株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-021962
公開番号（公開出願番号）：特開2001-215702
出願日： 2000年01月31日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：

【要約】【課題】 比較的低温でのポストベ-クが可能で、しかも得られる絶縁膜が耐熱性や耐酸・耐アルカリ性・耐熱性を有するイミド系感光性樹脂組成物、絶縁膜およびその形成法を提供することである。【解決手段】 (1)遅くともプリベ-ク後にはハ-フエステル化されてなるイミドシロキサンオリゴマ-、(2)感光性モノマ-、(3)光重合開始剤、(4)架橋助剤、(5)微細無機フィラ-および(6)溶媒からなり、各成分の割合が、(1)ハ-フエステル化イミドシロキサンオリゴマ-100重量部に対して、(2)感光性モノマ-0.1〜100重量部、(3)光重合開始剤0.01〜30重量部、(4)架橋助剤1〜75重量部および(5)微細無機フィラ-1〜50重量部であるイミド系感光性樹脂組成物、これを用いた絶縁膜およびその形成法。

請求項（抜粋）：

(1)遅くともプリベ-ク後にはハ-フエステル化されてなるイミドシロキサンオリゴマ-、(2)感光性モノマ-、(3)光重合開始剤、(4)架橋助剤、(5)微細無機フィラ-および(6)溶媒からなり、各成分の割合が、(1)ハ-フエステル化イミドシロキサンオリゴマ-100重量部に対して、(2)感光性モノマ-0.1〜100重量部、(3)光重合開始剤0.01〜30重量部、(4)架橋助剤1〜75重量部および(5)微細無機フィラ-1〜50重量部であるイミド系感光性樹脂組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/038 504 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/46 ,  C08G 77/455 ,  C08K 5/1515 ,  C08K 5/17 ,  C08L 83/10 ,  H05K 3/28 ,  C08L 63:00

FI (10件)：

G03F 7/038 504 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/44 A ,  C08F 2/46 ,  C08G 77/455 ,  C08K 5/1515 ,  C08K 5/17 ,  C08L 83/10 ,  H05K 3/28 D ,  C08L 63:00 A

Fターム (114件)：

2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC34 ,  2H025BC43 ,  2H025BC77 ,  2H025CB25 ,  2H025CB32 ,  2H025CC03 ,  2H025CC08 ,  2H025CC20 ,  2H025FA29 ,  4J002CD052 ,  4J002CP163 ,  4J002CP171 ,  4J002DG049 ,  4J002DJ019 ,  4J002DJ049 ,  4J002DJ059 ,  4J002EE037 ,  4J002EE047 ,  4J002EE057 ,  4J002EH076 ,  4J002EL038 ,  4J002EN038 ,  4J002EN097 ,  4J002EQ007 ,  4J002EQ029 ,  4J002EQ037 ,  4J002EU119 ,  4J002EU187 ,  4J002EU196 ,  4J002EV087 ,  4J002EV247 ,  4J002EV307 ,  4J002EX069 ,  4J002FD019 ,  4J002FD143 ,  4J002FD146 ,  4J002FD147 ,  4J002FD150 ,  4J002FD152 ,  4J002FD158 ,  4J002FD159 ,  4J002FD209 ,  4J002GH00 ,  4J002GQ01 ,  4J002HA05 ,  4J011PA09 ,  4J011PA13 ,  4J011PA35 ,  4J011PA36 ,  4J011PA47 ,  4J011PA86 ,  4J011PA99 ,  4J011PB22 ,  4J011PB30 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QA12 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA33 ,  4J011QA39 ,  4J011QB25 ,  4J011RA10 ,  4J011SA02 ,  4J011SA03 ,  4J011SA12 ,  4J011SA14 ,  4J011SA15 ,  4J011SA16 ,  4J011SA18 ,  4J011SA20 ,  4J011SA25 ,  4J011SA28 ,  4J011SA32 ,  4J011SA34 ,  4J011SA38 ,  4J011SA46 ,  4J011SA48 ,  4J011SA54 ,  4J011SA58 ,  4J011SA61 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA78 ,  4J011SA80 ,  4J011SA83 ,  4J011TA06 ,  4J011TA08 ,  4J011TA09 ,  4J011TA10 ,  4J011UA01 ,  4J011UA06 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J035BA02 ,  4J035CA01N ,  4J035GA06 ,  4J035GB02 ,  4J035LA03 ,  4J035LB16 ,  5E314AA27 ,  5E314AA36 ,  5E314AA41