人工格子および人工格子の形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-162647
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010306
出願日： 1996年06月24日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】比較的簡便な方法により基板に対して垂直またはある角度をもって形成されるミクロンスケールの3次元人工格子構造とその形成方法を提供すること、特に新規な光機能素子を光アシストプロセスにより形成する手法を提供することを目的としている。【解決手段】屈折率の異なる領域の屈折率n1領域1と屈折率n2領域2を交互に繰り返した格子構造を、干渉性の高いエネルギー線の2分割干渉照射とこれとは波長の異なるエネルギー線の照射との組み合わせにより形成する。

請求項（抜粋）：

領域A1および領域A2が交互に繰り返す積層構造において、前記領域A1は所望の屈折率n1を有しており、前記領域A2は前記屈折率n1とは異なる屈折率n2を有しており、前記積層構造は前記積層構造の法線方向とは平行ではない法線方向を有する基体上または基体間に配置される人工格子。

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