特許
J-GLOBAL ID：200903058668106653
ペリクル装着構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-360276
公開番号（公開出願番号）：特開平11-194481
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：
【要約】【課題】 ペリクルと基板を装着するのに接着剤を使用すると、基板が歪み、異物が混入する問題があった。【解決手段】 ペリクルフレーム6に溝7を設け、コ字状に形成した複数の板バネ8を溝7と基板1のエッジ下部に係合させて、基板1にペリクルを装着する。
請求項（抜粋）：
ペリクルフレームに溝を設け、コ字状に形成した複数の板バネを前記溝と基板のエッジ下部に係合させて、前記基板にペリクルを装着することを特徴とするペリクル装着構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 K
, H01L 21/30 502 P
