特許
J-GLOBAL ID：200903058671882885
光量測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-180072
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033344
出願日： 1995年07月17日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【課題】 走査型露光装置において、露光量分布を測定できる光量測定装置を提供する。【解決手段】 コントローラ18がウエハステージ15を走査させ、パルス光源1を発光させて走査方向に一列に配列された複数の受光素子を有する照度計17に対して露光を行う。露光中、パルス毎に照度計17の各受光素子の出力値を積算していき、露光終了後、メモリ19に格納してあった各受光素子の感度ばらつきの補正係数を読み出して、それぞれ対応する受光素子の測定値を除算し、各受光素子間の感度ばらつきが測定値に与えた影響を除去する。これにより、走査方向に一列に配列された受光素子毎の測定値が露光領域の走査方向における露光量分布として得られる。
請求項（抜粋）：
複数の受光素子よりなる光強度測定手段と、該光強度測定手段を被測定領域に対して相対的に走査する走査手段とを有し、該走査手段によって前記光強度測定手段を前記被測定領域に対して相対的に走査しながら前記複数の受光素子が順次受光する光強度を各受光素子毎に記憶手段に記憶し、該記憶手段に記憶された情報を用いて光量を測定することを特徴とする光量測定装置。
IPC (4件)：
G01J 1/42
, G01J 1/02
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
G01J 1/42 J
, G01J 1/02 S
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 502 G
, H01L 21/30 516 D
