特許
J-GLOBAL ID：200903058672527086
パターン欠陥検出装置及びパターン欠陥検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-315772
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160681
出願日： 1996年11月27日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 ハードウェアの変更をすることなくソフトウェアの変更を最小限にとどめて、従来は擬似欠陥と判断された真欠陥を正確に検出できるパターン欠陥検出装置及びパターン欠陥検出方法を提供する。【解決手段】 シフト部106は、参照画像を所望のシフト量だけシフトする。差分部107は、被検査画像と参照画像との輝度の差分を求め、不一致部分が拡大強調された差分画像を得る。真欠陥判定部104は、一定しきい値以上の輝度を有する不一致部分を抽出すると共に、ノイズ除去処理を行い真欠陥の判定を行う。
請求項（抜粋）：
参照画像と、パターン形状を有する被検査物からの被検査画像とを、前記参照画像と前記被検査画像とを位置合わせ位置から少なくとも一方向にシフト量αだけシフトさせるシフト手段と、該シフト後の前記参照画像と前記被検査画像との輝度差を検出する差分手段と、前記輝度差が輝度しきい値以上の不一致部分を抽出すると共に、前記不一致部分の中から前記一方向での大きさがm以下のノイズを除去して前記被検査物の真欠陥を判定する真欠陥判定手段と、画像上における前記一方向での大きさがMAXを越えるものを真欠陥と判定し、MIN以下のものを疑似欠陥と判定したい場合に、下記(I)式を満たすシフト量αを前記シフト手段に指示するシフト量指示手段と、を有していることを特徴とするパターン欠陥検出装置。 m-MAX≦α≦m-MIN (I)
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, H01L 21/66
G01N 21/88 E
, G01B 11/24 F
, H01L 21/66 J
