特許

J-GLOBAL ID：200903058673799411

プラズマ装置

発明者： 出口 洋一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-187621
公開番号（公開出願番号）：特開平6-005555
出願日： 1992年06月22日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：

【要約】【目的】 処理室内圧力を検出する圧力検出手段で微少変動が測定されても、処理室内圧力を微少変動のない圧力として出力することができるプラズマ装置を提供する。【構成】 プラズマ25を磁界により回転または移動させる如く設けられた磁界移動手段22と、上記プラズマ25が生成されるプラズマ室3の圧力を検出する如く設けられた圧力検出手段31と、上記プラズマ25の回転または移動の周期を検出する周期検出手段26と、この周期検出手段26の信号に基づいて、上記圧力検出手段31で測定された圧力を平均化して出力する平均化手段41とで構成されたものである。

請求項（抜粋）：

プラズマを磁界により回転または移動させる如く設けられた磁界移動手段と、上記プラズマが生成されるプラズマ室の圧力を検出する如く設けられた圧力検出手段と、上記プラズマの回転または移動の周期を検出する周期検出手段と、この周期検出手段の信号に基づいて、上記圧力検出手段で測定された圧力を平均化して出力する平均化手段とで構成されていることを特徴とするプラズマ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/302 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H05H 1/46

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-227439
  
• 特開平1-227440
  
• 特開平2-139926