酸化アルミニウム用エッチング液

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：久保山隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-132200
公開番号（公開出願番号）：特開平10-321611
出願日： 1997年05月22日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】酸化アルミニウムに対する選択的エッチング性(侵食性)に優れ、しかもエッチング後の表面の平滑性に優れ、更に溶解した元素のアンモニウム塩の発生を抑制した酸化アルミニウム用エッチング液を提供する。【解決手段】下記(A)〜(C)を混合してなり、(A)/(B)の重量比が1/20〜1/2であり、(A)〜(C)の合計重量中の(C)の割合が25〜70重量%である酸化アルミニウム用エッチング液。(A):フッ化アンモニウム(B):有機カルボン酸(C):水

請求項（抜粋）：

下記(A)〜(C)を混合してなり、(A)/(B)の重量比が1/20〜1/2であり、(A)〜(C)の合計重量中の(C)の割合が25〜70重量%である酸化アルミニウム用エッチング液。(A):フッ化アンモニウム(B):有機カルボン酸(C):水

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