特許
J-GLOBAL ID：200903058686786564
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
櫻井 俊彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-216068
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036768
出願日： 1991年08月01日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】〔目的〕半導体ウェハ(W)などの被検査体を表面に保持し垂直方向に昇降可能なチャック(22)とこのチャックを保持し水平方向に移動可能なステージ(21)と、チャック(22)に保持中の被検査体の表面に配列された任意のチップの水平面内の位置及び高さを検出する第1の光学的位置検出手段(13)と、ステージ(21)に保持され被検査体のチップ内の所定箇所に接触せしめられるプローブカード12のプローブ針の水平面内の位置及び高さを検出する第2の光学的位置検出手段(23)とを備えた自動針合わせ装置において、熱膨張に伴う被検査体やチャックの伸縮、あるいはチャック上への被検査体の載置状態のバラツキなどに起因する針合わせ精度の低下を防止する。【構成】チャック(22)に設けられ、第1,第2の光学低位置検出手段(13,23)相互の位置合わせと焦点合わせに使用されるターゲット(25a)を備えている。
請求項（抜粋）：
複数のチップが設けられた被検査体を表面に保持しかつこの表面に垂直な方向に昇降可能なチャックと、このチャックを保持しかつこのチャックの表面と平行な平面内に移動可能なステージと、前記チャックに保持中の被検査体の表面に配列された任意のチップの前記平面内の位置及び高さを光学的に検出する第1の光学的位置検出手段と、前記ステージに保持されかつ前記被検査体の表面に形成されたチップ内の所定箇所に接触せしめられるプローブ針の前記平面内の位置及び高さを検出する第2の光学的位置検出手段と、前記チャックに設けられ前記第1,第2の光学的位置検出手段相互の位置合わせ及び焦点合わせに使用されるターゲットとを備えたことを特徴とするプローブ装置。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01B 11/00
, G01R 31/26
, H01L 21/68
