特許
J-GLOBAL ID：200903058708959395
光回路デバイス、その製造方法およびそれを用いた多層光回路
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇井 正一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-038869
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082642
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【目的】 基板上に形成された有機膜を形成し、この有機膜に非線形光学特性を与えることにより、光回路デバイスを製造する。【構成】 基板上に形成された有機膜を含み、前記膜が基板上の一部の領域に選択的に形成されているか、または前記膜が基板上の全部の領域に形成され、かつ、その膜の一部の領域が選択的に他の領域と異なる厚さに形成されているかまたは選択的に異なる構造を有するように、光回路デバイスを形成する。この光回路デバイスは、種々の構成をもって製造することができ、多層光回路を形成することもできる。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された有機膜を含み、前記膜が基板上の一部の領域に選択的に形成されているか、または前記膜が基板上の全部の領域に形成され、かつ、その膜の一部の領域が選択的に他の領域と異なる厚さに形成されているかまたは選択的に異なる構造を有する、光回路デバイス。
IPC (5件)：
G02B 6/12
, C08L101/00 LTB
, C30B 25/02
, C30B 25/04
, H01L 27/15
