特許
J-GLOBAL ID：200903058709621614

インプリント用金型及びこれを備えたインプリント装置

発明者：
宮越 博史

宮越 博史 について


出願人/特許権者：
コニカミノルタホールディングス株式会社

コニカミノルタホールディングス株式会社 について


代理人 (1件)： 丸山 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-103045
公開番号（公開出願番号）：特開2008-260160
出願日： 2007年04月10日
公開日（公表日）： 2008年10月30日
要約：
【課題】金型の更なる高速昇降温を可能にしてサイクルタイムの短縮化を図り得るインプリント用金型及びこれを備えたインプリント装置を提供すること。【解決手段】金型本体2と、該金型本体2の裏面側を支持する金型ホルダー3とを有し、金型本体2を昇降温させることにより該金型本体2の表面に形成されたパターン2aを樹脂に転写するインプリント用金型1において、金型本体2の裏面に、昇温用の電気抵抗部4が埋設されていることを特徴とするインプリント用金型。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
金型本体と、該金型本体の裏面側を支持する金型ホルダーとを有し、前記金型本体を昇降温させることにより該金型本体の表面に形成されたパターンを樹脂に転写するインプリント用金型において、 前記金型本体の裏面に、昇温用の電気抵抗部が埋設されていることを特徴とするインプリント用金型。
IPC (5件)：
B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  B29C 51/30 ,  B29C 59/00 ,  B29C 33/02
FI (5件)：
B29C59/02 Z ,  H01L21/30 502D ,  B29C51/30 ,  B29C59/00 J ,  B29C33/02
Fターム (28件)：
4F202AC03 ,  4F202AG01 ,  4F202AH79 ,  4F202AJ02 ,  4F202AJ06 ,  4F202AK09 ,  4F202CA17 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CN14 ,  4F202CN18 ,  4F202CN21 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AK08 ,  4F209AK09 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN03 ,  4F209PN04 ,  4F209PN06 ,  4F209PN13 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (1件)

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