研削システム用のバックアッププレートアセンブリ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：青木篤 , 鶴田準一 , 島田哲郎 , 西山雅也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-555979
公開番号（公開出願番号）：特表2004-517740
出願日： 2001年06月08日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

研磨物品バックアッププレートアセンブリ(22)および研磨物品バックアッププレートアセンブリ(22)を有するグラインダシステムが開示されている。研磨物品バックアッププレートアセンブリ(22)は、研磨表面内の観測窓(100)を含む研磨表面を有する研磨物品(40)を含む。研磨物品(40)を支持する第1の主表面を含む支持部材(44)が設けられる。支持部材(44)の少なくとも一部分は、支持部材(44)と観測窓(100)とを総合的に見通すために十分に透明な材料から製造される。研磨物品バックアッププレートアセンブリを含むグラインダシステムを用いて表面を研磨する方法もまた、開示されている。

請求項（抜粋）：

研磨物品バックアッププレートアセンブリであって、研磨表面を有し、該研磨表面内に観測窓を有する研磨物品と、前記研磨物品を支持する第1の主表面を有する支持部材であって、該支持部材の少なくとも一部分が、該支持部材と前記観測窓とをまとめて透かし見るのに十分に透明な材料から製造される支持部材と、を備える研磨物品バックアッププレートアセンブリ。

IPC (3件)：

B24D7/12 , B24D7/00 , B24D13/14

FI (3件)：

B24D7/12 , B24D7/00 P , B24D13/14 B

Fターム (9件)：

3C063AA02 , 3C063AA06 , 3C063AB02 , 3C063BA22 , 3C063BC03 , 3C063BC05 , 3C063BE03 , 3C063BG04 , 3C063BG18

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